二次离子质谱仪，是利用质谱法分析初级离子入射靶面后，样品表面被高能聚焦的一次离子轰击时，一次离子注入被分析样品，把动能传递给固体原子，引起中性粒子和带正负电荷的二次离子发生溅射，然后根据溅射的二次离子的质量信号，对被轰击样品的表面和内部元素分布特征进行分析。二次离子质谱仪分析对象包括金属及合金、半导体、绝缘体、有机物、生物膜等。下面微谱为大家介绍下关于二次离子质谱分析方面知识。

    1）、测试范围：

    1、掺杂和杂质深度分析

    2、浅注入和超薄膜的超高分辨率深度分析

    3、芯片分析，芯片结构及杂质元素定性定量分析

    4、薄膜的组成和杂质的测量

    2）、sims测试样品：

    SiC基部分元素定量分析

    GaN基（Mg、Si、C、O等）

    Si基（C、H、O等）

    3）二次离子质谱分析标准：

    ASTME1880-1997(2002)用次级离子质谱法(SIMS)对组织低温部分分析规程

    ASTME1504-2011次级离子质谱法(SIMS)中质谱数据报告的标准实施规程

    ASTME1505-1992(1996)离子移植外标物中SIMS相关灵敏度因数测定指南

    ASTME1505-1992(2001)离子移植外标物中SIMS相关灵敏度因数测定指南

    ASTME1880-1997用次级离子质谱法(SIMS)对组织低温部分分析规程

    二次离子质谱仪分析对象包括金属、有机物、生物膜、半导体、绝缘体等，应用领域包括化学、物理学和生物科学等基础研究，并已遍及到材料科学、薄膜、微电子学等领域。

    以上就是小编为大家带来的关于二次离子质谱分析，二次离子质谱可以测什么的相关内容介绍，希望对大家能够有所帮助，如果您想要了解更多资讯请联系微谱客服！

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